Ultrathin SiO2 and High-K Materials for ULSI Gate Dielectrics: Volume 567
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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V105:
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Produktdetails
Weitere Autoren: Richter, C. A. (National Institute of Standards and Technology, Maryland) (Hrsg.) / Green, M. L. (Lucent Technologies, Liberty Corner, New Jersey) (Hrsg.) / Lucovsky, G. (North Carolina State University) (Hrsg.) / Hattori, T. (Hrsg.)
- ISBN: 978-1-55899-474-4
- EAN: 9781558994744
- Produktnummer: 12935059
- Verlag: Materials Research Society
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1999
- Seitenangabe: 615 S.
- Masse: H23.6 cm x B16.3 cm x D3.8 cm 1'000 g
- Abbildungen: Worked examples or Exercises
- Gewicht: 1000
- Sonstiges: Tertiary Education (US: College)
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