CVD of Compound Semiconductors
Precursor Synthesis, Developmeny and Applications
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.Unter anderem werden behandelt:* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE* Einkomponentenvorstufen* CBE-Technik* ALE-TechnikEine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch is…
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Produktdetails
Weitere Autoren: O'Brien, Paul
- ISBN: 978-3-527-61462-2
- EAN: 9783527614622
- Produktnummer: 13871812
- Verlag: Wiley-Vch
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 2008
- Seitenangabe: 352 S.
- Plattform: PDF
- Masse: 18'844 KB
Über den Autor
Anthony C. Jones and Paul O'Brien are the authors of CVD of Compound Semiconductors: Precursor Synthesis, Developmeny and Applications, published by Wiley.
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