Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices
An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of
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Produktdetails
Weitere Autoren: Gusev, Evgeni (Hrsg.) / Vul', Alexander (Hrsg.)
- ISBN: 978-0-7923-5008-8
- EAN: 9780792350088
- Produktnummer: 3457731
- Verlag: Springer Netherlands
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1998
- Seitenangabe: 520 S.
- Masse: H23.5 cm x B15.5 cm x D2.7 cm 779 g
- Auflage: Softcover reprint of the original 1st ed. 1998
- Abbildungen: Paperback
- Gewicht: 779
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