Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Pol…
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Produktdetails
- ISBN: 978-3-656-27670-8
- EAN: 9783656276708
- Produktnummer: 13700724
- Verlag: GRIN Publishing
- Sprache: Deutsch
- Erscheinungsjahr: 2012
- Seitenangabe: 76 S.
- Masse: H21.0 cm x B14.8 cm x D0.5 cm 122 g
- Auflage: 2. Auflage
- Gewicht: 122
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