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Cenk Acar

MEMS Vibratory Gyroscopes

Structural Approaches to Improve Robustness

Ebook (PDF Format)

 MEMS Vibratory Gyroscopes provides a solid foundation in the theory and fundamental operational principles of micromachined vibratory rate gyroscopes, and introduces structural designs that provide inherent robustness against structural and environmental variations. In part one, the dynamics of the vibratory gyroscope sensing element is developed, common micro-fabrication processes and methods commonly used in inertial sensor production are summarized, design of mechanical structures for both linear and torsional gyroscopes are presented, and electrical actuation and detection methods are discussed along with details on experimental characte… Mehr

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Produktdetails


Weitere Autoren: Shkel, Andrei M.
  • ISBN: 978-0-387-09536-3
  • EAN: 9780387095363
  • Produktnummer: 12801604
  • Verlag: Springer-Verlag GmbH
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2008
  • Plattform: PDF
  • Masse: 43'572 KB
  • Auflage: 2009

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