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David Weinberger

Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene

Ebook (PDF Format)

Bachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro- und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage für hochbeschleunigte Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlässigkeitstest vorgestellt. Diese sind momentan, durch den Einsatz von Hot-Chuck's, noch recht zeitaufwändig und verlangen daher nach einer alternativen Wärmequelle. Der in dieser Arbeit vorgestellte Ausweg beschreibt einen Pol… Mehr

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Produktdetails


  • ISBN: 978-3-656-27620-3
  • EAN: 9783656276203
  • Produktnummer: 13686418
  • Verlag: Grin Verlag
  • Sprache: Deutsch
  • Erscheinungsjahr: 2012
  • Seitenangabe: 72 S.
  • Plattform: PDF
  • Masse: 22'662 KB

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