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Jie Zhang

Wafer Fabrication

Automatic Material Handling System

Ebook (PDF Format)

This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.

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Produktdetails


  • ISBN: 978-3-11-048747-3
  • EAN: 9783110487473
  • Produktnummer: 27054981
  • Verlag: Gruyter, Walter de GmbH
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2018
  • Seitenangabe: 284 S.
  • Plattform: PDF
  • Masse: 8'914 KB
  • Auflage: 1. Auflage

Über den Autor


Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China

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