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Cammy R. Abernathy

Topics In Growth And Device Processing Of Iii-v Semiconductors

Buch

A description of advanced epitaxial growth and self-aligned processing techniques for the fabrication of III-V semiconductor devices such as heterojunction bipolar transistors and high electron mobility transistors. This work also details the use of carbon-doping and dry etching techniques.

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Produktdetails


Weitere Autoren: Sah, Chih Tang / Ren, F.
  • ISBN: 978-981-02-1884-3
  • EAN: 9789810218843
  • Produktnummer: 1563185
  • Verlag: World Scientific Pub Co Inc
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 1996
  • Seitenangabe: 560 S.
  • Masse: H22.6 cm x B15.7 cm x D3.3 cm 816 g
  • Gewicht: 816

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