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Henry P. Baltes

CMOS Hotplate Chemical Microsensors

Buch

This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping: theory of transducer modelling, microelectronics design considerations, system design issues, and issues related to system and device microfabrication, packaging, and testing. A variety of different hotplates for different operation conditions is detailed and a family of metal-oxide-covered microhotplate-based microsensor systems with increasing complexity is presented. These systems belong to a new generation of chemical microsensors and represent examples of the successful integratio… Mehr

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Produktdetails


Weitere Autoren: Barrettino, Diego / Graf, Markus / Hierlemann, Andreas
  • ISBN: 978-3-642-08910-7
  • EAN: 9783642089107
  • Produktnummer: 10559819
  • Verlag: Springer Berlin Heidelberg
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2010
  • Seitenangabe: 140 S.
  • Masse: H23.6 cm x B15.4 cm x D1.5 cm 225 g
  • Auflage: Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2007
  • Abbildungen: Paperback
  • Gewicht: 225

Über den Autor


56934495

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