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Wendong Zhang

Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices

Buch

A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices

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Produktdetails


Weitere Autoren: Chou, Xiujian / Shi, Tielin
  • ISBN: 978-1-118-71796-7
  • EAN: 9781118717967
  • Produktnummer: 18458331
  • Verlag: Wiley
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2017
  • Seitenangabe: 352 S.
  • Masse: H24.4 cm x B16.8 cm x D2.0 cm 680 g
  • Gewicht: 680

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