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David Z. (Hrsg.) Pan

Nanolithography and Implications on Circuit Design

Buch

This book provides a comprehensive and updated state-of-the-art compilation on nanolithography and implications on future nanometer IC designs. Its scope in a bottom-up manner, includes the underlying equipment and process issues for nanolithography, the computational lithography aspects, and the key design and CAD issues and possible solutions. The subjects covered include: introduction of nanolithography process and trends; computational lithography (including lithography simulations, OPC, inverse lithography, pixilated mask, source mask optimization, etc.); lithography-aware analysis & design; and future lithography technologies and E… Mehr

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Produktdetails


Weitere Autoren: Singh, Vivek (Hrsg.)
  • ISBN: 978-1-4419-6156-3
  • EAN: 9781441961563
  • Produktnummer: 6037354
  • Verlag: Springer Nature
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2012
  • Seitenangabe: 400 S.
  • Masse: H23.5 cm x B15.5 cm
  • Auflage: Edition

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