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David Attwood

Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation

Principles and Applications

Ebook (EPUB Format)

This detailed, comprehensive book describes the fundamental properties of soft X-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation and discusses their applications in a wide variety of fields, including EUV lithography for semiconductor chip manufacture and soft X-ray biomicroscopy. The author begins by presenting the relevant basic principles such as radiation and scattering, wave propagation, diffraction, and coherence. He then goes on to examine a broad range of phenomena and applications. The topics covered include spectromicroscopy, EUV astronomy, synchrotron radiation, and soft X-ray lasers. The author also provides a wealth of useful refere… Mehr

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Produktdetails


  • ISBN: 978-1-139-63642-1
  • EAN: 9781139636421
  • Produktnummer: 24134737
  • Verlag: Cambridge University Press
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2007
  • Seitenangabe: 0 S.
  • Plattform: EPUB

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