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James (Hrsg.) Moyne

Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing

Ebook (PDF Format)

Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine runs, thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.

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Produktdetails


Weitere Autoren: Del Castillo, Enrique (Hrsg.) / Hurwitz, Arnon M. (Hrsg.)
  • ISBN: 978-1-4200-4066-1
  • EAN: 9781420040661
  • Produktnummer: 18420674
  • Verlag: Taylor & Francis Ltd.
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2018
  • Seitenangabe: 368 S.
  • Plattform: PDF
  • Masse: 6'656 KB
  • Abbildungen: 27 schwarz-weiße Tabellen

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