Chemical-Mechanical Planarization: Volume 867
Integration, Technology and Reliability
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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V105:
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Produktdetails
Weitere Autoren: Kumar, A. (Hrsg.) / Lee, J. A. (Hrsg.) / Obeng, Y. S. (Hrsg.) / Vos, I. (Hrsg.)
- ISBN: 978-1-55899-820-9
- EAN: 9781558998209
- Produktnummer: 13103442
- Verlag: Materials Research Society
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 2005
- Seitenangabe: 302 S.
- Masse: 1'000 g
- Abbildungen: Worked examples or Exercises
- Gewicht: 1000
- Sonstiges: Tertiary Education (US: College)
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