Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-Based Devices
An extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0.1 mu and gate thicknesses of
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Produktdetails
Weitere Autoren: Gusev, Evgeni (Hrsg.) / Vul', Alexander (Hrsg.)
- ISBN: 978-0-7923-5007-1
- EAN: 9780792350071
- Produktnummer: 3375743
- Verlag: Springer Netherlands
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1998
- Seitenangabe: 524 S.
- Masse: H24.1 cm x B16.0 cm x D3.3 cm 945 g
- Auflage: 1998
- Abbildungen: HC runder Rücken kaschiert
- Gewicht: 945
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Ebook (PDF Format)
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