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Andreas Hierlemann

CMOS Hotplate Chemical Microsensors

Ebook (PDF Format)

This is the first comprehensive book on microhotplate-based chemical sensor systems in CMOS-technology. It covers all aspects of successful sensor prototyping: theory of transducer modelling, microelectronics design considerations, system design issues, and issues related to system and device microfabrication, packaging, and testing. A variety of different hotplates for different operation conditions is detailed and a family of metal-oxide-covered microhotplate-based microsensor systems with increasing complexity is presented. These systems belong to a new generation of chemical microsensors and represent examples of the successful integratio… Mehr

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Produktdetails


Weitere Autoren: Barrettino, Diego / Baltes, Henry P. / Graf, Markus
  • ISBN: 978-3-540-69562-2
  • EAN: 9783540695622
  • Produktnummer: 12824610
  • Verlag: Springer-Verlag GmbH
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2007
  • Plattform: PDF
  • Masse: 3'708 KB
  • Auflage: 2007

Über den Autor


89257771

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