Micromachining and Microfabrication Process Technology II
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V106:
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Produktdetails
Weitere Autoren: Chang, Shih-Chia / Society Of Photo-Optical Instrumentation Engineers / Semiconductor Equipment and Materials International / National Institute of Standards and Technology (U S )
- ISBN: 978-0-8194-2277-4
- EAN: 9780819422774
- Produktnummer: 27354243
- Verlag: SPIE Press
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1996
- Seitenangabe: 366 S.
- Abbildungen: illustrations
- Sonstiges: General (US: Trade)
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