Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Les films de ZrO2 pur sont déposés par MOCVD en variant de nombreux paramètres du processus. L'influence des conditions de dépôt sur l'évolution de la microstructure a été étudiée et clarifiée. Par des analyses approfondies des résultats expérimentaux, trois mécanismes typiques de croissance de dépôt de ZrO2 ont été proposées. Les contraintes de croissance de compression sont en relation directe avec la diffusion atomique et la quantité d'espèces piégées dans les films. La formation de la texture cristallographique est complexe et deux types de textures ont été analysées dans la phase tétragonale : la texture de fibre {110}t est contribuée p…
Mehr
CHF 107.00
Preise inkl. MwSt. und Versandkosten (Portofrei ab CHF 40.00)
V105:
Folgt in ca. 15 Arbeitstagen
Produktdetails
- ISBN: 978-3-8381-4632-4
- EAN: 9783838146324
- Produktnummer: 37626322
- Verlag: Presses Académiques Francophones
- Sprache: Französisch
- Erscheinungsjahr: 2014
- Seitenangabe: 192 S.
- Masse: H22.0 cm x B15.0 cm x D1.2 cm 304 g
- Abbildungen: Paperback
- Gewicht: 304
Über den Autor
Zhe CHEN, né le 23, avril, 1983.Doctoral diplomé de l'Université Paris-Sude XI (2011).Poste actuel: Maître de conference de l'Université Jiaotong de Shanghai.
87 weitere Werke von Zhe Chen:
Correlative Learning
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (PDF Format)
CHF 126.00
The Material Point Method
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (EPUB Format)
CHF 139.30
Paclitaxel
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (EPUB Format)
CHF 185.75
Printed Electronics
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (PDF Format)
CHF 150.00
Printed Electronics
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (EPUB Format)
CHF 150.00
Dynamic Neuroscience
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
Ebook (PDF Format)
CHF 177.00
Bewertungen
Anmelden