Reaktionsverhalten von Siliciumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen
Untersuchungen an Kristalloberflächen und Vergleich mit geeigneten Molekülsilanen
Das Werk befasst sich mit grundlegenden Untersuchungen von Reaktionsmustern kristalliner Si- Oberflächen in HF-basierten Ätzlösungen. Ausgehend von industriell relevanten HF - HNO3 - H2O - Gemischen wurden HF/HNO3 - Konzentrationsverhältnisse, durch gelöste Stickoxide bedingte Folgereaktionen sowie pH-Werte als wichtige Steuerparameter identifiziert. Die in diesem Kontext zentrale Rolle von Nitrosylionen wurde durch Untersuchungen von spezifischen Reaktionsmustern an as-cut und hydrophobierten Si-Oberflächen sowie bei Umsetzungen mit Oligosilanen als Modellverbindungen bestätigt. Die aus den umfassenden analytischen Untersuchungen der gasförm…
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Produktdetails
- ISBN: 978-3-8381-2344-8
- EAN: 9783838123448
- Produktnummer: 36371304
- Verlag: Südwestdeutscher Verlag für Hochschulschriften AG Co. KG
- Sprache: Deutsch
- Erscheinungsjahr: 2015
- Seitenangabe: 288 S.
- Masse: H22.0 cm x B15.0 cm x D1.7 cm 447 g
- Abbildungen: Paperback
- Gewicht: 447
Über den Autor
Sebastian Patzig-Klein studierte von 2000 bis 2005 Chemie an der TU Bergakademie Freiberg. Mit seiner im Arbeitskreis von Edwin Kroke am gleichen Institut verfassten Dissertation wurde er im Jahr 2009 promoviert. Seit 2010 ist er als Projektleiter in einem in Süddeutschland ansässigen mittelständischen Unternehmen tätig.
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