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Mark R. Hornung

Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors

Ebook (PDF Format)

Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors presents a packaged ultrasound microsystem for object detection and distance metering based on micromachined silicon transducer elements. It describes the characterization, optimization and the long-term stability of silicon membrane resonators as well as appropriate packaging for ultrasound microsystems. Micromachined Ultrasound-Based Proximity Sensors describes a cost-effective approach to the realization of a micro electro mechanical system (MEMS). The micromachined silicon transducer elements were fabricated using industrial IC technology combined with standard silicon micromachining techn… Mehr

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Produktdetails


Weitere Autoren: Brand, Oliver
  • ISBN: 978-1-4615-4997-0
  • EAN: 9781461549970
  • Produktnummer: 37137867
  • Verlag: Springer US
  • Sprache: Englisch
  • Erscheinungsjahr: 2012
  • Seitenangabe: 121 S.
  • Plattform: PDF
  • Auflage: 1999
  • Reihenbandnummer: 4

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