Microelectronics Technology: Polymers for Advanced Imaging and Packaging
Provides an up-to-date assessment of chemically amplified resist materials chemistry and process considerations. Reports novel chemistry for single layer 193nm lithographic applications. Discusses new approaches to silicon-containing resists and multilevel processes. Explores the design of low-dielectric polymer materials for microelectronic applications.
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Produktdetails
Weitere Autoren: Ober, Christopher K. (Hrsg.) / MacDonald, Scott A. (Hrsg.)
- ISBN: 978-0-8412-3332-4
- EAN: 9780841233324
- Produktnummer: 22401288
- Verlag: Amer Chemical Soc
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1995
- Seitenangabe: 590 S.
- Masse: H23.2 cm x B16.1 cm x D3.5 cm 925 g
- Reihenbandnummer: 614
- Gewicht: 925
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