Micro Mechanical Systems
Principles and Technology
In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three looks at micromachining by machine tools, its history, basic principles and preparation methods. Section four discusses tribological aspects of microsystems. Section…
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V221:
Noch nicht erschienen, Dezember 2022
Produktdetails
Weitere Autoren: Menz, Wolfgang (Hrsg.)
- ISBN: 978-0-08-053654-5
- EAN: 9780080536545
- Produktnummer: 35969686
- Verlag: Elsevier Science & Techn.
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 1998
- Seitenangabe: 276 S.
- Plattform: EPUB
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