Low Dielectric Constant Materials for IC Applications
Low dielectric constant materials are an important component of microelectronic devices. This comprehensive book covers the latest low-dielectric-constant (low-k) materials technology, thin film materials characterization, integration and reliability for back-end interconnects and packaging applications in microelectronics. Highly informative contributions from leading academic and industrial laboratories provide comprehensive information about materials technologies for < 0.18 um process technology. Topics include: Organic dielectric materials, Inorganic dielectric materials, Composite dielectric materials, Metrology and characterization…
Mehr
CHF 200.50
Preise inkl. MwSt. und Versandkosten (Portofrei ab CHF 40.00)
Versandkostenfrei
V211:
Noch nicht erschienen, Februar 2022
Produktdetails
Weitere Autoren: Leu, Jihperng (Hrsg.) / Lee, Wei William (Hrsg.)
- ISBN: 978-3-642-55908-2
- EAN: 9783642559082
- Produktnummer: 38259103
- Verlag: Springer Berlin Heidelberg
- Sprache: Englisch
- Erscheinungsjahr: 2012
- Seitenangabe: 310 S.
- Plattform: PDF
- Auflage: 2003
- Reihenbandnummer: 9
10 weitere Werke von Paul S. (Hrsg.) Ho:
Bewertungen
Anmelden