ANALIZA OBRÓBKI MIKROPATTERNÓW LASEREM EKSCYMEROWYM

Przeanalizowano proces przeciagania laserowego w celu usuniecia wzoru rowka i bardziej zlozonych cech 3D na arkuszu poliweglanu (PC) poprzez ksztalt otworu maski. W celu przewidzenia obrabianego profilu podczas procesu przeciagania, opracowano model matematyczny opisujacy zaleznosc pomiedzy parametrami obróbki laserowej a wytworzonym profilem. Zaproponowany model jest weryfikowany doswiadczalnie. W pracy przedstawiono wyniki eksperymentu i symulacji numerycznej w przeciaganiu pojedynczym i krzyzowym z zastosowaniem masek eliptycznych, trójkatnych i prostokatnych. Parametry pracy obejmuja predkosc przeciagania, czestotliwosc powtarzania impulsów, liczbe impulsów, fluencje oraz wymiar otwarcia maski. Wykazano dobra zgodnosc pomiedzy eksperymentem i symulacja z odchyleniem mniejszym niz 14%. W oparciu o zaproponowany model, miniaturowa soczewka lampy moze byc produkowana poprzez zmiane parametrów pracy lasera, ksztaltu i wymiarów maski. Ponadto, badane sa korzysci plynace z zastosowania soczewki lampy o mikroskopijnych rozmiarach dla skutecznosci swietlnej. Wyniki ilustruja, ze systemy optyczne z soczewka lampy o mikro-funkcji moga oferowac lepsza wydajnosc optyczna niz te z soczewka lampy o makro-funkcji.